二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9155953 待售

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702光刻系統是一種精密的制造工具,專為制造精密的微機電系統而設計。它由主光敏裝置、自動處理櫃、抗蝕劑預烤裝置、自旋噴霧功能、熱板、再循環泵裝置以及酸洗部件組成，使晶圓鈍化。主光致抗蝕劑單元是具有用戶友好界面的獨立單元。它由單一和混合光刻膠的分配器、泵、攪拌器和儲層組成。光刻膠的分配是通過高壓微泵完成的，該泵為每個應用提供準確和一致的流量。單元中的攪拌器用於在分配時保持光刻膠溶液的正確粘度。儲層允許使用單一或混合光刻膠，同時允許在不同的溶液容器之間泵送。自動處理櫃由一系列抽屜組成，供晶圓架放置在機器中處理，以及一個可以一次裝載多個晶圓的托盤。自動處理工具允許晶圓從儲層轉移到自旋和噴霧功能。抗蝕劑預烘烤裝置是一種保證晶片在暴露於抗蝕劑過程中穩定性的資產。該單元由預熱烤箱組成，該烤箱既有底部加熱器，也有頂部加熱器。底部加熱器有助於在晶片上創建所需的溫度分布,而頂部加熱器則可確保均勻的阻抗厚度。自旋和噴霧單元是由自旋和噴霧室組成的模塊。它被用於光刻膠在晶圓表面的均勻應用。該單元通過放置在腔室中的晶片的快速旋轉運行。與氣缸結合時，自旋和噴霧單元的作用是將光刻膠均勻地分布在晶片表面。熱板提供了一個平臺，晶圓可以被均勻加熱到最高125攝氏度。它是一種溫控表面，晶圓可以在其上加熱烘烤，同時用攪拌棒攪拌，以確保均勻的抗熱厚度。再循環泵模型由一系列循環光刻膠的泵組成。這種設備可確保光致抗蝕劑保持恒定均勻且在可接受的參數範圍內。酸性沖洗組分用於晶圓鈍化。這有助於確保晶片表面不被光刻膠溶液的殘留物和用於蝕刻過程的其他成分汙染。ASSI SV-702光刻系統是一種高度先進的制造工具，在微機電裝置生產中具有精密和精確的關鍵功能。憑借其自動化的搬運櫃、抗預烤單元、自旋噴霧功能、熱板、再循環泵機、酸性沖洗部件，為廠家提供了實現高效可靠生產工藝的能力。