二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9156022 待售

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702 Photoresist System是為生產集成電路而設計的高性能開發單元。該機器利用專利的旋轉塗層工藝來制造薄膜抗蝕劑圖案。自旋塗層工藝是一種高效的方法，可以在基板上塗覆多種材料，包括光致抗蝕劑。該過程需要在塗抹光刻膠材料的同時在兩個鏡子之間旋轉基板，然後在幹燥前對濕的抗蝕劑進行光處理。ASSI SV-702工具旨在最大限度地提高生產產量,確保質量一致,並最大限度地減少浪費。ADVANCED SPIN ASSET INC SV-702模型具有多種功能,可針對單個薄膜或基板類型定制工藝。這包括一個旋轉臺，用於旋轉盒式磁帶支架以配合薄膜塗層，一個非常低的浸入式石英噴嘴，以有效地抵抗輸送和均勻性，以及一個可調節的底片夾，以實現可重復和精確的對準。該設備還具有可遠程控制的接口,使用戶能夠通過以太網遠程運行系統。SV-702單元還包括分析圖像和打印過程結果的強大功能,例如顯微鏡圖像、橫截面、光譜剖面、顯影剖面和幹膜厚度。這些功能使用戶能夠為每個單獨的膠片類型精確設置最佳工藝條件。這包括設定最佳自旋速度、基板夾緊壓力以及材料濕度參數的能力。可以調整這些參數以匹配每個可重復結果的進程。該機具有集成的數據記錄器，用於跟蹤過程穩定性和質量控制。這允許用戶在很長一段時間內監視配方和流程參數以進行高級流程管理。該工具還包括一個先進的控制資產，以實現優秀的註冊和對齊多個膜之間。總體而言，ADVANCED SPIN MODEL INC/ASSI SV-702光刻設備是集成電路快速發展的先進工具。該系統旨在最大限度地提高產量，確保質量一致，最大限度地減少浪費。它具有旋轉速度的精確調整、濕度參數和高級流程管理的高級數據記錄功能。該設備還具有一個可遠程控制的界面,用戶可以遠程運行計算機。ASSI SV-702 Photoresist Tool非常適合集成電路的生產應用。