二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9242165 待售

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702是為電子元件的高效、精確處理而設計的光阻系統。該裝置采用多區三級自旋工藝，能夠在廣泛的特征和基板上可靠和可重復地生產均勻的光刻膠薄膜。它能夠處理從18mm到600mm的晶圓。ASSI SV-702通過將精密旋轉機和靜態偏置電極相結合，提供了一種處理基板和特性的獨特方法。偏置電極允許均勻的自旋速度和靜態電場，從而允許最佳的自旋均勻性。該工具的設計目的是提供最高的吞吐量和準確度,其曝光時間低於旋轉模式的第二、高均勻性和可重復性。該資產可用於正負光敏材料。通過使用加熱的抗蝕室，光致抗蝕劑材料被加熱並均勻地施加到基板上。加熱室確保了均勻的溫度曲線,從而實現了一致和均勻的旋轉性能。這樣可以消除漂移並消除過程中的錯誤。ADVANCED SPIN MODEL INC SV-702使用氣動驅動設備旋轉晶片並確保膜厚度和特征放置均勻。該系統還配備了一個主軸氣動單元，可實現受控的抵抗應用速度，從而實現高水平的薄膜控制。它還具有自動化的過程控制功能,使操作員能夠實時監控和調整參數。此外,該計算機還提供了多種數據記錄功能,允許進行詳細的後處理分析。SV-702還包括一個集成的視覺工具,可以即時檢查最終產品。ADVANCED SPIN ASSET INC/ASSI SV-702是一種多合一光抗蝕劑模型,能夠可靠地、精確地處理各種織物。其精密自旋設備、靜態偏置電極、耐熱室、氣動傳動系統、主軸氣動和自動化過程控制，使得薄膜放置均勻，具有業界無與倫比的精度和可重復性水平。