二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9358968 待售

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702光阻系統是制備高質量測量樣品的革命性工具，專門設計用於與最新的光電半導體器件配合使用。該單元采用先進的自旋塗層技術，使用戶能夠將光致抗蝕劑薄膜沈積在厚度範圍廣泛、均勻性極好的基材上。機器包括一個自旋塗層室、一個分配站和一個後烘烤站，所有這些都可以與現有的工藝集成。旋轉塗層室的獨特設計提供了一個均勻的旋轉場，允許在應用時抵抗材料的均勻分布。與其他自旋塗層工藝相比，這可以改善膜的厚度和均勻性。該室由兩級室、基板架和真空子室組成。腔室設有自動控制閥，可實現精確的旋轉速度和真空設置，以獲得最佳效果。分配站包括一個多頭泵，用於在基板上分配精確數量的抗蝕劑。此設置可實現準確的過程監視和控制,並減少了運行到運行時抵抗厚度變化的可能性。泵可處理各種粘度和體積，允許同時應用紫外線和電子束抗蝕劑。烘烤後站設計為提供自動統一的烘烤後溫度管理工具。該站保持精確的溫度設置，用於基板的烘烤後加工，使厚度和薄膜均勻性在整個一批設備。烘烤後站利用較高的傳熱速率，確保烘烤後過程完成後樣品快速冷卻。ASSI SV-702光刻資產是現代半導體和光電器件制造的有力工具.該模型允許應用具有優異均勻性和精確度的光刻膠，而後烘烤站則可實現均勻的抗厚度和均勻性。該設備是制備任何精密測量試樣的可靠、通用的工具。