二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9397635 待售

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702是設計用於商業光刻工藝的先進光刻系統。該單元具有多軸旋轉器和具有精確圖像註入功能的旋轉表，使精確和可重現的圖像具有出色的分辨率。它設計用於各種光刻膠，能夠實現亞微米分辨率的模式。旋轉器利用最大轉速為20,000 rpm的高速電動機，能夠旋轉各種最大直徑為550 mm的旋轉器。旋轉器提供精確的自旋時間和減速控制，以確保可重現的結果與最小的光阻損傷。旋轉器還配備了真空室，以減少旋轉時間和減少塗層時間。旋轉臺裝有集成的索引機，使晶片在旋轉器中精確對準。該表能夠以120 rpm的最大旋轉速度旋轉晶片，並能在一次旋轉中產生高達48的索引數。該表還具有防止過度塗層的自動停止功能。該光刻工具配備了可重現圖像投影的精密圖像註入資產。它具有一系列高精度透鏡和增強的激光模型，使精細結構的精確曝光。該機器還能夠實現批量和單次曝光過程。ASSI SV-702適用於商業和工業光刻需要.它為用戶提供了一個可靠、可復制和高效的光刻設備，具有先進的特點和出色的分辨率。