二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-802 #293656814 待售

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-802是一種光刻膠系統,設計用於在各種基板上旋轉塗層並開發抗蝕劑。該裝置能夠在厚度均勻小於0.5微米的多種表面上塗覆光敏材料。它采用了均勻的自旋流動技術，以調節的速率將光敏材料施加到所需的基板上。這樣可以確保在開發過程中均勻抵抗,並提供可重復和一致的性能。該機具有高性能的旋轉頭，可調節旋轉速度高達2000 RPM，旋轉範圍為0-50 mL/min。它還具有可調的流量和均勻的自旋覆蓋參數。為了進行精確控制，它提供了可調的自旋速度和定時參數，並且可以以1分鐘為增量進行編程，以實現精確的抗蝕性沈積。光敏材料直接倒入旋轉頭，並用特殊泵加壓，以達到一致的流量。然後將旋轉頭夾在基板上，並以可編程的速度旋轉，從而使材料精確地塗覆。這也保證了光致抗蝕劑均勻地應用於整個表面。還包括RESI-Track軟件,用於快速管理和開發過程。這包括用於快速對準的可編程視覺密鑰、帶有集成對準輔助工具的可調背光以及集成的高分辨率成像。該軟件還與一系列高級成像和掃描工具兼容，為用戶提供對其應用程序的微調控制。該工具是為長期使用而設計的，具有各種質量控制設置，如烘烤溫度、烘烤時間、大衣時間和固化溫度。它還配備了過溫短路保護，以確保使用壽命最長，性能最佳。ASSI SV-802光刻資產是光刻、蝕刻和其他微加工工藝的理想選擇。它提供了極薄、均勻的光刻材料塗層，設計用於快速、精確的設置。它是精確控制塗層和抗蝕性沈積的一個很好的解決方案。