二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-802 #9358969 待售

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-802是一種光刻膠系統，專為提供步進重復光刻膠等薄膜聚合物材料的高效光刻處理而設計。該單元可以沈積具有高度精確曝光控制的薄膜感光聚合物，同時提供廣泛的自旋塗層速度和軌道角。ASSI SV-802機器還支持復制過程,如光刻圖樣、圖樣復制和晶圓傳輸。該工具的高效光刻工藝是通過其精密的元件級旋轉塗層實現的。這款自旋塗層能夠一次占用多達4個基板，並配有用於均勻自旋塗層的大容量精密齒輪驅動電動機，使其能夠提供精確的曝光控制。自旋塗層也由現代PLC控制，以確保可重復和一致的塗層過程。資產還可以沈積多種性質不同、塗層厚度不同的聚合物。ADVANCED SPIN MODEL INC SV-802的進階影像控制閘門可以精確處理分辨率高達200 nm的基板，而其軌跡角可以在每邊0至180°之間調整。此外,設備的多個曝光源、精確計數器和邊緣定位設備可提供高精度、重復性和速度。SV-802系統還配備了獨特的後側洪水暴露單元，可用於後側過程或部分覆蓋基板。該單元還可以精確地對齊和解析基板所需的圖樣。ADVANCED SPIN MACHINE INC/ASSI SV-802的高級功能使其成為薄膜光刻制造過程中的一系列步驟的理想選擇,從抗塗層到復制。它也是一系列工藝的理想選擇，如半導體制造、有機和無機薄膜生產、液晶器件生產等。ASSI SV-802具有廣泛的特性和準確、精確的結果,是一種功能強大且可靠的光刻工具。