二手 AEROTON Aero 886 #9273222 待售

AEROTON Aero 886是一種光刻設備，為半導體和其他集成電路生產過程中的模具蝕刻提供了環保的解決方案。該系統以光敏技術為基礎，這是一種將一層薄薄的感光材料施加到基板上，然後再用紫外線光源照射的方法。在Aero 886的情況下，光致抗蝕劑技術在一個充滿氮的腔室中進行，以減少暴露於破壞性氧化。該單元使用放置在腔內的一組晶圓載流子。晶片被轉移到室內，註入氮氣以降低氧化水平。一旦達到所需的真空水平，就會對晶片施加「阻塞層」，並暴露在高強度的紫外線光源下。這是該過程的蝕刻階段。在蝕刻過程中，光致抗蝕劑層暴露在紫外線下，從而在晶片表面上形成圖樣成像。這是使用包含設計信息的特殊模板實現的,這些設計信息是在蝕刻之前編程到機器中的。當UV光通過晶片時,根據模板圖樣,光致抗蝕劑層被暴露或阻擋。然後將所需的設計圖案蝕刻到基板上，產生微小的線條和點的細小圖案，稱為微標記。一旦所需的圖樣被蝕刻，工具就會將少量的氮氣穿過晶圓表面，以清除任何可能幹擾光敏層的多余材料。這樣可以確保一旦更換的光致抗蝕劑層被應用，新的模式將保持在機智。總體而言，AEROTON Aero 886是一種有效的解決方案，可以將細小的圖案蝕刻到各種應用的基板上。充氮室有助於消除氧化造成的損害，高強度的紫外線產生精確的微標，允許精密蝕刻和高質量的最終產品。