二手 AIO 603-4 Sonic Fog #9124425 待售

AIO 603-4是Sonicate光刻膠系統的一個變體，在研究背景下為高質量的光刻而設計。它能夠產生極小的線寬到10nm的精確特征，允許它在MEMS和顯示器等應用中用於亞微米陣列。該單元包括一個以248nm波長發射的激光源，它被定向到基板上。激光以極高的速度關閉，以控制光刻膠的曝光。激光被調制，允許不同波長和強度的多次通過，使用戶可以優化圖樣區域的分辨率。該單元還能夠執行非常低的能量暴露模式,允許非線性模式,以便可以以更高的強度對大型特征進行陣列處理,而以較低的強度對小型特征進行陣列處理。AIO 603-4在基板上還有一層防反射塗層，有助於減少激光束的散射，幫助保持光束聚焦，並允許更窄的線寬。AIO 603-4還帶有一個精密的Z級，用於相對於激光源定位基板。它用於確保激光束與基板正確對齊，以確保精確、可重復的圖樣。該裝置配備了用於曝光和開發光刻膠的自動化系統，有助於保持光刻工藝的快速和準確。開發和剝離能力允許在基板上開發多種模式，而無需手動清洗。最後，AIO 603-4聲波霧為高質量光刻提供了良好的圖樣設計。其生產線寬極小的特性的能力,以及自動曝光和開發系統,使其非常適合需要亞微米陣列的應用。