二手 AIO / RITE TRACK SVG 90 #293775031 待售
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ID: 293775031
晶圓大小: 6"
Coater / Developer system, 6"
FTC Cabinet
Main power GP Cabinet
SVG GUI Rack controller cabinet
SVG Chemical cabinet
Chemical waste tank
Wafer centering module
(2) Coat modules
(2) Develop modules
(2) Load ports
HMDS Module
(3) Bake oven modules
(4) Chill plate modules
Qty / Description
(16) / Shuttle bearings, SVG, linear 200-595
(4) / Belt timing SVG Dev dispenses ARM 6B16-37
(3) / Tebr cables chain,4MM Pitch 1.2O PD
(4) / Cable chains, 103 Pitch (Belt) 204-020
(2) / Spin station boards
(1) / Thermalogic temp control board / 121-180
(1) / Shuttle interface board 99-80267-01R
(1) / Assy, thermo cutoff 99-23226-01
(1) / Motor, random shuttle drive 99-45467-01
(1) / Motor gear harness 99-47222-01
(1) / Marathon motor mod 5KH32GNB811AX
(1) / Motor, spindle, 90S air assist 27-66286-01
(1) / Sensor, cassette
(3) / RTD, 3 Wire 1/8 sheaths
(5) / Optical sensor transmissive 0.512 (13MM" Z3204-ND
(4) / PCB Assy, 80158 Single sensors SVG 99-80158-01
(1) / Cybor pump controller 506A
(2) / Hot bake temp controllers
(4) / 24 VDC Solenoid 114-1003
(4) / 24 VDC Solenoid 50 PSI 99-38539-01
(3) / Sprng, tors .048X270DEG 2.5IN LBS 211-150
(4) / Exhaust tube poly-bake 9.5 13287-01
(2) / Chuck, 90, Coater, 8"
(2) / 21190-01
(4) / Kit, flowmeters 17-76280-01
(2) / Nozzles 2257-01
(2) / Cassette end station vacuum blades, short
(3) / PIN, Centering devices 20770-01
(4) / PIN, Supporting 20769-01
(2) / Cassette shuttle vacuum blades, LONG 99-41467-02
(19) / Fuses 500 MA F2450-ND
(1) / Vacuum bake thermocouple 121-208
(2) / Top side EBR Motor harness tebr 99-39825-01
(3) / Cybor 5116 pumps
(2) / Procon pumps 105C240F51BD
(1) / Flow meter 65MM EBR 1350GAL1AKFF1AAA
(8) / Boat, entegris (8") K198-80MB-97C02
(4) / Solenoid valve assembly 99-23062-01
(3) / Vacuum solenoid, 24VDC 114-088
(4) / KIT, Humphrey valves, 4WAY, 2POS, 24VDC 17-77246-01
(1) / Power supply board 99-80268
(4) / Cable chains, 88 pitch 204-021
(3) / 24 VDC Solenoid 2WAY VALVE 114-102
(1) / SCR Power controller
(1) / Hygroclip HC2-S standard climate probe
(1) / Spindle motor controller 99-38892-01
(1) / Spindle motor controller 99-38891-01
(2) / Serial arm full assemblies 99-38154-02
(2) / Motors DC Servo 75V 1.5A 112-083
(2) / Pistons 203-148
(1) / Keyboard 90S CES 85-48094-01U
(1) / Chamber LID VP/VB/HPO
(1) / Rotronic humidity transmitter
(1) / Assy, LCD Display 99-41844-01
(1) / PCB Assy,vacuum sensor 99-80170-01
(6) / Stations CPU BD 80166F.
AIO/RITE TRACK SVG 90是一種在半導體製造業中扮演關鍵角色的尖端光抗蝕劑設備。該系統旨在為晶片基板上的光刻材料提供精確可靠的圖樣，從而能夠以高精度和高分辨率制造復雜的半導體器件。AIO SVG 90集成了各種先進技術和功能，以支持半導體制造所涉及的復雜光刻工藝。RITE TRACK SVG 90單元的關鍵部件之一是軌道模塊，負責晶圓表面的分配、塗層、烘烤和開發光敏材料。履帶模組設有多個自旋塗層，可讓不同厚度的光刻膠膜均勻受控沈積。該機還包括用於烘烤和冷卻塗層晶片的熱板和冷卻板，確保了最佳的薄膜性能和附著力。SVG 90工具融合了先進的自動化和機器人技術，以簡化光刻膠處理工作流程，最大限度地提高生產效率。該資產配備了高精度的對準定位機制，以確保多個光刻步驟的準確叠加和定位。此自動化級別有助於減少制造過程中的人為錯誤和可變性,從而提高產量和設備性能。此外,AIO/RITE TRACK SVG 90型號還提供了一個全面的軟件套件,使用戶能夠對光刻工藝的各種參數進行編程和控制。該軟件允許對關鍵過程變量進行實時監控和調整，如旋轉速度、分配體積和烘烤溫度，以達到最優的光刻膠圖案效果。此外，該設備能夠生成詳細的流程報告和數據日誌，用於質量控制和可追蹤性目的。在性能方面，AIO SVG 90系統提供了高吞吐量的能力，允許對大批量晶圓進行快速高效的處理。該裝置旨在滿足大容量半導體生產設施的苛刻要求，在這些設施中，嚴格的工藝控制和一致性對於達到質量標準和生產目標至關重要。RITE TRACK SVG 90在實現亞微米特征的高分辨率陣列方面表現出色,能夠制造具有復雜幾何形狀的高級半導體器件。總體而言，SVG 90是一臺最先進的光刻機，它使半導體制造商能夠實現精確可靠的光刻材料陣列，用於生產尖端的半導體器件。憑借其先進的技術、自動化能力和性能特性,AIO/RITE TRACK SVG 90在推動半導體技術和創新的持續發展方面發揮著關鍵作用。
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