二手 AIO SF 600 #293746431 待售
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AIO SF 600是一款先進的用於光刻工藝的自動化光刻設備，具有多種掩蔽、預烤、後烤、剝離和自動晶片處理功能。它旨在提供高效生產半導體所必需的可靠、快速和精確的制造工藝和工藝控制。該系統采用標準的頂載式晶片放置，強大的伺服控制驅動電機，以及創新的光纖照明器，用於改進晶片的裝卸。機器的模塊化設計使得它可以很容易地針對不同的產品應用進行配置，而一個獨立的380V電源允許它在電氣分類區域（ECA）中使用。SF 600具有高度的靈活性,因為它的組件可以很容易地移動和重新配置,以執行不同的任務。采用內置塗層系統和晶圓紡絲，將光敏塗層塗在兩層薄板上。第一層使用精確定位的浮動噴嘴，以達到理想的塗層厚度。第二層也使用旋轉器，但使用手動掩蔽工具只將抗蝕劑施加到所需的光掩蔽上。塗層光致抗蝕劑後，AIO SF 600進行預烤工藝，幫助抗蝕劑粘附在晶片上。烘烤溫度根據抗蝕劑材料的靈敏度而變化，控制器確保精度和可重復性。預烤後，曝光工具用於將圖案傳遞到光刻膠上。曝光完成後，機器進行後烘烤，以便將圖樣粘合到晶圓上。然後,使用自動化過程剝離抗蝕劑,並執行清潔過程以清除剩余的抗蝕劑。最後,一組端點傳感器和微處理邏輯有助於確保整個光刻膠制造過程中的過程和結果一致。總體而言，SF 600是一個可靠和先進的光刻裝置，提供先進的自動化過程和高質量的結果。它易於使用的模塊化設計和可配置性使其成為生產各種半導體元件的絕佳選擇。憑借強大的伺服控制驅動電機、光纖照明器和精密烘烤工藝，這臺光刻機為半導體行業提供了高效一致的制造解決方案。
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