二手 AIR BROWN SPD160RN #9258130 待售

AIR BROWN SPD160RN光刻設備是為現代光刻系統的卓越性能而設計的自動化系統。它提供了一個高分辨率和高精度的抗蝕層，可用於比較蒙版設計和陣列，用於要求苛刻的高級集成電路（IC）制造過程。這種光致抗蝕劑裝置結合了先進而全面的一套光致抗蝕層材料和設備，如先進的基板傳遞階段 （ASTS）能夠精確控制光刻機中晶片的對準,以及先進的光刻傳遞工具 （ADDS）能夠提供一致、準確的抗蝕層,用於IC設備的可靠陣列。SPD160RN光致抗蝕劑資產還采用了多種專門技術，以確保優越的空間曝光性能和可靠性。其中包括高速清洗技術（HCT）和高精度叠加技術（HOT）,確保高精度圖案和特征,以及激光對準技術（LAT）,以更高的速度和精度執行精確的對準操作。此外，該模型還結合了優化的形狀匹配和自動校正對準特征（OMAC），有助於提高光刻膠圖案的精度。此外，這種光敏設備還利用先進的光學透鏡系統，確保光在每個像素處具有最大強度，在每次曝光時提供更高的精度和均勻性。這也允許改進對光學參數的控制，以便在要求苛刻的光刻應用中實現卓越的分辨率。該系統還配備了先進的光刻工具和軟件，如設計用於簡化光刻工藝的高級建模套件（AMS），以及自動檢查模式質量並檢測任何缺陷的先進模式性能監測單元（APPM）。機器中的其他功能包括快速對齊過程、提高圖樣精度的優化算法，以及具有flexo-LIGA能力的支持，以確保納米尺度的精確圖樣生成。總之，AIR BROWN SPD160RN光刻工具以其全面的特點和技術，為光學光刻系統提供卓越的性能。其先進的材料、設備和軟件提供了一個光刻層,可提供可靠、準確的IC設備陣列,以及卓越的分辨率和均勻性,可用於要求苛刻的光刻應用。