二手 ALLTEQ 1520 #9312394 待售

ALLTEQ 1520是由ALLTEQ Materials設計用於半導體製造過程的光刻膠設備。該系統設計用於與多種光刻膠配合使用，從無水到正色調的光刻膠，用於沈積和顯影抗蝕劑薄膜到半導體器件的基板上。該單元由一個控制單元和幾個硬件組件組成，它們共同為生產光刻膠薄膜提供了必要的工具和功能。硬件組件包括寫字室、顯影室、等離子蝕刻室和光掩模支架。1520的控制單元提供了機器的高級控制，允許精確調整暴露時間、開發時間、開發解決方案、等離子體蝕刻時間等參數。控制單元還允許對流程參數進行精確監控，以確保流程平穩高效地運行。為了產生光敏膠片，首先將光掩模放置在光掩模支架中。接下來，將光掩模支架放置在書寫室中，並放置在基板上方。然後將紫外線輻射引導到光掩模上，使底物暴露於光中，並引發光化學反應，在底物上產生光致抗蝕劑膜。一旦薄膜被創造出來，光掩模支架就會被移動到顯影室中，並在指定的顯影時間內被淹沒在顯影溶液中。最後，光掩模支架被移動到等離子體蝕刻室中，以便蝕刻掉基板上任何暴露的光致抗蝕劑區域。ALLTEQ 1520是一種高效的光刻膠工具，為半導體製造過程生產高品質的光刻膠膜。控制單元在過程控制方面提供了極好的靈活性和準確性,而硬件組件使用戶能夠快速高效地生產抗蝕膜。1520是半導體制造工藝的理想光刻資產.