二手 ALLTEQ L1600 #293748752 待售

ALLTEQ L1600是為滿足半導體制造的嚴格要求而設計的高精度自動化光刻設備。該系統采用緊湊的占地面積設計,為眾多應用提供了多種離軸照明工具,如晶圓掃描、5倍還原掃描、暗場掃描和4倍還原成像光刻。L1600單元利用了最先進的CCD數字成像機,可以高速、精確地獲取圖像數據。該工具還包括一整套晶圓位置監控、溫度控制和自動對焦功能，以及各種光刻模式、項目模式和軟件控制功能的選項。該資產提供了廣泛的曝光分辨率,範圍從¼-µm到4 µm,以及全場、µm動態聚焦深度（DOF）控制。此外，該型號還提供高對比度成像和高分辨率、高精度的蝕刻能力，方便6英寸晶圓的生產過程。該設備還具有四個大孔徑設計目標，能夠在廣泛的波長範圍內提供高達0.3 µm的DOF。此外，該系統與多種圖像處理和圖像強化算法完全兼容，能夠同時控制多個藝術文件和多個曝光頭。最後，ALLTEQ L1600采用了先進的校準技術，能夠自動校準化學反應堆和相關的燈，從而實現快速的工藝優化。集成掃描單元在整個過程中為亞波長精度提供實時聚焦監控，在生產過程中節省寶貴的時間和資源。