二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Raider ECD 310 #9202573 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS RAIDER ECD 310是一種用於先進光刻應用的光刻設備。它為設備制造提供了最高的精度和準確性,提供了制造高性能電路、內存和大規模集成電路所需的精確分辨率和臨界暴露條件。AMAT Raider ECD 310利用氦鎘準分子激光源發出的深紫外線（DUV）輻射，能夠產生248-308 nm範圍內的波長曝光。它能夠提供最先進的光刻應用所需的強烈曝光。該系統的光學器件精確對齊，以便在焦點、場平面度和遠心率等關鍵成像參數上精確。高速鏡像掃描儀可提供卓越的圖像保真度和幀對幀穩定性。精密的掃描儀設計可提供高達915 nm的分辨率,使您能夠精確關註最具挑戰性的電路模式。光致抗蝕劑單元可確保塗抹在基板上的各層厚度均勻，從而實現精確的臨界尺寸控制，並產生接近完美對齊的完美圖像。該機配有集成噴塗站，便於光刻膠的均勻應用和有效的表面覆蓋。包括激光、曝光膜和掃描儀在內的初級和次級光學元件都被封閉在一個單獨的腔室中，用於環境控制。這通過提供穩定的熱環境來確保最大的光刻精度，同時最大限度地減少因化學反應引起的變化。APPLICED MATERIALS Raider ECD 310是一款非常適合大容量制造和關鍵設計應用的工具。它為創建超精細幾何形狀提供了業界領先的分辨率和曝光精度,因此被證明是生產世界上最先進的電路的重要工具。