二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Raider ECD #9197689 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Raider ECD是一種先進的光刻設備,能夠實現卓越的光刻應用。該系統基於正音、電子束敏感的光致抗蝕劑單元，具有較高的分辨率、較低的排泄率和提高的耐堿性。它針對各種前端和後端處理應用程序的性能進行了優化。AMAT Raider ECD所使用的光致抗蝕劑由矽樹脂、PMMA等添加劑的正電阻材料組成。抗蝕劑對電子束敏感，對紫外線、X射線、電子束等曝光過程極為敏感。抗蝕劑通常使用自旋塗層工藝沈積在半導體晶片或其他基板上。光刻機具有兩大功能：一是與目標層建立接觸，二是在加工過程中保護底物。APPLIED MATERIALS Raider ECD可以通過其兩層工具完成這兩項功能。第一層稱為基抗劑，而第二層稱為鍵合層。底座抗蝕劑在處理過程中提供保護,並降低反射率。它是一種強大的機械和化學屏障，可保護底層底物免受汙染，並防止暴露於清潔室內環境，如酸、堿、溶劑、蝕刻劑等。堿基抗蝕劑還充當粘合層的粘合劑，粘合層是在暴露於光致抗蝕劑後形成的。鍵合層是光致抗蝕劑層的一個不受影響的部分,在陣列化過程完成後,該部分仍附著在目標層上。該層有助於最大限度地減少接觸和氧化物掩蔽缺陷，從而使基板具有更好的分辨率和更好的附著力。入侵者ECD資產為各種基材和晶圓技術提供了卓越的電阻率和附著力。具有良好的邊緣清晰度，提高了開發後的整潔性和均勻性。該型號也極快，對其他光刻膠系統表現出優越的速度和吞吐量。AMAT/APPLIED MATERIALS Raider ECD設備旨在優化半導體和MEMS設備分包中各種工藝的性能。它可以與一系列材料一起使用，包括銅、鋁和矽質法拉第籠子、氮化矽和錫氧化物。該系統還與電鍍工藝兼容，在填充、平面和均勻性方面提供了優異的效果。總之，AMAT Raider ECD裝置是一種先進的光致抗蝕劑溶液，具有較高的分辨率和較低的排泄率，同時提高了對堿性顯影劑的耐藥性。本機是光刻加工的絕佳選擇，具有優越的邊緣清晰度、優越的速度和吞吐量，以及出色的電阻率和對各種基板的附著力。