二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Raider #293702989 待售
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ID: 293702989
System
Non-functional
Missing parts:
Mapping IO
Plating lift / rotor assys
Fire suppression system
(9) IO Boxes
(2) Tank IO Boxes
(27) YASKAWA Amplifiers
(5) SRD Lift / rotor assys
(4) Plating rotor assys
(5) SRD Rotor assys
(5) Chamber bowls
(6) Anode baskets
(6) Flow meters
(2) 48 VDC Power supplies
(2) Ionizer controllers
(2) Mapping sensors
(10) Remote IO boards
(7) Levitronix pumps
(7) Pump controllers
(6) Flame detectors
(5) Plating power supplies.
AMAT/APPLIED MATERIALS Raider是一種光刻設備,旨在為先進的半導體器件制造提供一流的陣列分辨率和覆蓋精度。AMAT Raider利用業界領先的成像和精確控制技術,在最苛刻的制造環境中實現先進的應用。APPLICED MATERIALS Raider駐留在電子束光刻平臺上,提供卓越的分辨力和增強的靈活性。它允許嚴格的過程控制,具有廣泛的光刻特性,適應各種設備和基材。突襲者的高分辨率成像利用先進的像差校正、散射光束照明和嚴密的準確度方法進行無汙染操作。AMAT/APPLIED MATERIALS Raider具有高通量晶圓預對齊系統,通過減少對齊誤差最大程度地提高了吞吐量並最大程度地減少了覆蓋。可以采用多種對準標記方法,包括激光設計和模內標記識別,以實現更好的運行到運行的覆蓋精度。高速、大容量的預對準器可以處理尺寸達200毫米(8英寸)的晶片,並包括真空卡盤,用於快速準確的裝卸。AMAT Raider配置了最先進的紫外線和深電子束光刻組件,包括成像/對比度控制(ICC)和激光制導控制(LGC)。ICC是一種先進的軟件算法,它感應晶圓失真並調整柵極電壓,以創建更均勻的光阻模式。LGC使用激光引導掃描單元,以保證晶圓曝光對準亞微米精度的精度。APPLIED MATERIALS Raider還提供了一種原位控制機器,能夠修正晶圓內均勻性和劑量控制。利用分段電磁場快速提取關鍵過程參數信息,同時向電子束柱提供實時反饋。Thorlabs先進的反射計工具在烘烤和圖案化時監控光刻膠厚度,確保晶片的均勻性。Raider是前沿半導體器件制造的可靠解決方案。其智能軟件算法和高端組件優化了光刻性能,確保了先進設備的領先產量。
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