二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Raider #9260103 待售
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單擊可縮放
ID: 9260103
晶圓大小: 6"
優質的: 2016
System, 6"
Model no: RE10O2ECD0604
ECD for SiC wafers, 6" (Bridge, 8")
(10) Chamber raiders: Cabinet / Frame
2-Position cassette: WIP
Raider automation and control system
Pre-aligner
Spin rinse dry chamber
DYNATRONIX Power supply for plating chamber
SMC Chillers
CFD3 Plating cells:
(2) XX Platings
(2) XX Strike platings
Process tanks:
(2) XX Baths
(2) XX Strike baths
No auxiliary equipment
2016 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Raider是一種光阻設備，旨在方便在晶片上產生可重復和高精度的特征。該系統專門設計用於在一系列材料上實現特征開發,例如氧化物、氮化物和高k電介質。由於其特征大小和放置精度,該單元提供了盡可能高的可重復性和可重復性精度。該機還具有0.5 μ m的成像可重復性，並允許0.18 μ m的特征開發分辨率。此外，該工具的分辨率和速度可以定制，以適應用戶的生產需求。AMAT Raider由兩個主要組件組成：一個Aseptix Commander和一個Matik Photorest Asset。Matik型號是集成到Aseptix平臺的先進模塊化光刻設備。該系統采用從上到下的掩碼方法實現功能開發,並使用戶能夠應用數字陣列技術。該單元還提供了多種其他功能,使生產過程更輕松。這些功能包括用於定位基準標記的自動規劃程序、用於設置最佳曝光條件的自動調整功能,以及用於提高成像精度的自動對焦機。此外,該工具還提供了一個閉環自動化流程,無需手動幹預。APPLIED MATERIALS Raider資產非常適合各種功能開發要求。其高分辨率、高精度等特點使其成為制造高性能微電子元件的理想解決方案。此外,它的自動化功能減少了生產時間和成本,同時還提高了功能開發的可重復性。這使得Raider成為生產高質量微電子器件的必要工具。
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