二手 AMCOSS AMR200 #293820703 待售
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ID: 293820703
優質的: 2024
Spin coater
Control module, P/N: AMR200C
Developer module, 8", P/N: AMR200D
Nitrogen (N₂) Purge function
UV Lamp
Spray nozzle
(3) Pressurized tank systems, P/N: AMC0203_004
(2) Dispense systems with trap tanks
Drain system
Chuck, 8"
On-Site start-up
Additional dispense arm for MagPie
2024 vintage.
AMCOSS AMR200是一種最先進的光刻設備,專門設計用於半導體制造和其他需要對基材進行精確圖案化的行業的高精度光刻應用。這種先進的設備為用戶提供了一種可靠、高效的解決方案,可以在矽片等基板上創建復雜的圖樣,並具有卓越的精度和分辨率。AMR200系統的核心是其精密的光致抗蝕劑分配和自旋塗層能力,能夠將光致抗蝕劑材料精確地沈積到厚度和覆蓋率均勻的基板上。該裝置配有先進的分配噴嘴和旋轉塗層機構,以確保一致和可重復的結果,最大限度地減少塗層厚度在整個基板表面的變化。AMCOSS AMR200具有用戶友好的界面,使操作員能夠輕松編程和自定義分配和塗層參數,以滿足其特定的應用要求。機器提供了廣泛的可調設置,包括旋轉速度、分配速率和塗層時間,讓用戶完全控制沈積過程,以實現所需的塗層厚度和均勻性。AMR200的主要優點之一是能夠處理各種光敏材料,包括正負色調抗蝕劑,以及針對特定應用的專門配方。該工具與廣泛的光阻化學體系兼容,允許用戶根據自己特定的光刻需要選擇最合適的材料。AMCOSS AMR200除了具有卓越的配料和塗層能力外,還具有先進的烘烤和固化特性,以確保光刻膠層在基板上的最佳附著力和穩定性。資產包括可編程的熱板和烤箱,這些熱板和烤箱在後塗層過程中提供精確的溫度控制,提高圖樣基板的整體質量和性能。此外,AMR200設計用於高吞吐量操作,具有快速的周期時間和高效的工作流管理功能,可最大限度地提高工作效率並減少停機時間。該模型配備了自動化的裝卸機制,以及先進的監測和控制系統,以精簡制圖過程,優化整體設備利用率。總體而言,AMCOSS AMR200在性能、精度和可靠性方面為光刻膠系統設定了新的標準。其先進的功能和用戶友好的界面使其成為需要高精度陣列解決方案的半導體制造商、研究機構和其他行業的理想選擇。通過投資於AMR200,用戶可以在其光刻應用中受益於提高的生產率、改進的過程控制以及卓越的質量結果。
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