二手 AND ASP-2000 #9373108 待售

AND ASP-2000是日本TechnoChem制造的光刻設備，用於先進的光刻。該系統使用光、溶劑和紫外線輻射的組合來蝕刻圖樣到諸如矽片之類的基板上。ASP-2000可以使用單面或雙面晶片,具體取決於應用程序。它首先用非水性、極性和質子溶劑的特殊組合處理晶片，以去除汙染物。這也保證了將被均勻塗抹的光刻膠塗層附著在基板上。晶片準備好後,WAND ASP-2000塗上光敏塗層.該單元的設計允許根據特定應用程序所需的特征尺寸來選擇不同類型的光刻膠。一旦應用了光致抗蝕劑，晶片就會暴露在與所創建的形狀和圖樣相對應的波長光中。光線經過晶片數次，允許應用具有不同化學性質的光致抗蝕劑層。在這一點上，晶圓已經準備好發展。根據應用情況，可以使用氧等離子體或空氣基方法將暴露的圖樣蝕刻到光致抗蝕劑中。在此步驟中,空氣或等離子體會去除任何殘留的汙染物,並且還會對光致抗蝕劑進行質化,以便以後更容易地將其去除。最後，不需要的光致抗蝕劑溶解掉使用熱浴和化學處理的組合，留下所需的圖樣在基板上。如果需要處理雙面晶片，那麼在第二面重復同樣的步驟。ASP-2000是一種功能強大且用途廣泛的光刻機,可用於多種應用。高可靠性，具有較高的吞吐量能力，使其成為芯片廠商的熱門選擇。