二手 AND ASP-2000LX #9205491 待售

AND ASP-2000LX是為工業用途而設計的高精度全自動光刻設備。它是一個獨特的系統，它將抗蝕劑塗層的曝光、曝光後烘烤和開發結合成一個完全自動化的操作。該單元旨在簡化生產過程,並通過不斷監測工藝參數來提高產品產量,並實時進行調整以確保產品的最佳質量。本機主要由兩個部分組成：曝光單元和工藝控制單元.曝光單元配有精密控制的激光二極管，可編程為在廣泛範圍內設定曝光時間和功率水平。這樣可以使抗蝕劑厚度控制的精度超過1%,並且可以對工具進行編程以處理各種不同的光刻材料。過程控制單元是資產的大腦，負責管理暴露後的各種操作。它包括用於曝光後烘烤過程的高精度烤箱、用於準確確定曝光後最佳烘烤時間的視覺模型，以及用於快速去除曝光和未曝光光抗蝕劑而不損壞基材的自動化開發設備。此外,ASP-2000LX還包括一個綜合軟件套件,用於控制系統和的各種功能,用於監視、記錄和分析流程數據。此軟件還允許用戶根據所使用基板的類型和尺寸自定義曝光配置文件、烤箱溫度和開發參數。總體而言，AND ASP-2000LX光致抗蝕劑單元是一種先進的工業解決方案，它提供了對整個光致抗蝕劑過程的精確控制。它使用戶能夠提高產品產量並減少曝光時間,同時確保結果的準確性和一致的質量。