二手 AND ASP-2000LX #9205493 待售

ASP-2000LX光敏設備是一種進行高精度制造的高性能系統.此單元使用深度、超精密的激光光刻技術來制作尺寸小於1.5 μ m的圖樣。機器由302 nm激光源、控制過程的測量工具、激光調制器和先進的控制單元組成。利用激光調制器對激光束進行精確調制，以產生圖樣。測量資產用於兩種用途，一種是報告與過程相關的各種參數，如偏轉角和激光強度，另一種是為控制單元提供反饋，以實現準確和可重復的結果。控制單元提供高級操作控制。這允許用戶以非常精確的方式調整速度、模式方向、大小和波長。此外,控制單元還存儲多種形狀和大小的陣列,從而提高了精度和可重復性。此模型還允許對圖案進行高度精確的對齊,從而產生微小的圖案特征和改進的線條邊緣粗糙度控制。設備的光學和機械性能符合高端精度標準,因此,對於1.5 μ m或以下的抗蝕劑和線寬,其性能可達到1 nm的精度。結果是非常小、準確和可重復的模式。這些圖樣可用於各種制造過程，如蝕刻、沈積、金屬化和更多。總體而言，ASP-2000LX光刻膠系統是一個強大的和先進的單元，旨在提供高精度的制造過程，準確，可重復的結果。它能夠生成特征大小約為1.5 μ m的模式,並提供高級反饋控制,以提高準確性和可重復性。它的可編程設置使得它成為高度專業化的制造過程的理想機器。