二手 AND ASP-2000LX #9375095 待售

ASP-2000LX光刻設備是一種最先進的光刻系統，設計用於半導體材料和其他敏感產品的高精度微制造。這種光刻裝置能夠生產小至0.5微米（0.0000002英寸）的結構。該機具有多種用戶友好的功能，如多層曝光，通過同時曝光幾層來加速流程，以及先進的對齊定位機制。ASP-2000LX工具的設計采用了專有的雙光源。該資產配有一個未過濾的水銀燈和一個過濾的LED陣列，可提供廣泛的光譜。這兩個光源可以分開使用，也可以在廣泛的多層曝光中一起使用。雙光源設計提高了吞吐量和吞吐量，同時在其光刻過程中提供了更高的精度和分辨率。通過精確對齊配準啟用多層曝光。這一機制采用視覺對準、自動XY級、激光幹涉儀和邊緣檢測方法的組合，以確保多層之間的精確對準。自動XY級還帶有一個精確控制器,用於精確定位層邊緣。除了高精度多層曝光外,AND ASP-2000LX模型還配備了先進的照片開發設備,可自動處理光刻膠圖像。這包括自動化光化學、抗蝕劑開發階段和開發後檢查。自動化系統確保了每一層的統一開發,並具有一致的高分辨率.此外，ASP-2000LX單位還配備了車載數據記錄儀。這種位於中心位置的數據記錄器可以輕松安全地收集測試結果和開發數據。這使操作員能夠審閱和分析流程性能,並開發出更好的流程參數。ASP-2000LX光刻機是一種用於敏感和半導體材料精密微加工的強大而可靠的工具。憑借其先進的雙光源技術、多層曝光能力、精確對準配準、先進的照片開發工具和車載數據記錄器，該資產是生產優質光刻產品的高性價比、高效光刻模型。