二手 AND ASP-2000X #9373110 待售

而ASP-2000X光敏設備是制造高精度微電子元件的關鍵要素。該系統由先進的、高精度的曝光單元、化學輸送機和真空紡紗平臺組成，共同為小型微電子元件的加工提供了綜合濕法化學溶液。The Exposure Tool uses a electron bamb unit to非常精確地將紫外線和化學物質的最佳水平暴露在基板的正確區域。該資產具有極高的精度和可重復性,能夠對亞微米大小的特征進行陣列設計.化學輸送模型將化學物質精確地泵入基板中,並具有正確的定時和準確度。這確保了該化學品具有適當的形式和適當的濃度才能有效。真空旋轉平臺被用來以非常慢的速度旋轉基板。這樣可以確保化學物質均勻地散布在基板表面，並達到適當的暴露量。該設備提供了一系列用於定義化學和接觸參數的選項。該系統還能夠使用多種化學品和暴露時間在基板上創建3維特征。該單元能夠創建低至0.1微米的小特征。ASP-2000X是一種高度先進的光刻機，可用於制造小型微電子元件。它提供了一個精確和可重復的模式解決方案，以及一個通用和靈活的選項控制暴露和化學沈積。該工具能夠在基板上創建低至0.1微米的小特征，確保精確和高精度的微電子元件。