二手 AND ASP-2000X #9373113 待售

AND ASP-2000X
製造商
AND
模型
ASP-2000X
ID: 9373113
晶圓大小: 2"-6"
(3) Coater / (4) Developer systems, 2"-6".
而ASP-2000X是一種為研究和工業應用而設計的高度先進的光阻設備。它的工作原理是「開發」由光敏材料制成的光學圖像到其他東西上,如印刷電路板、膠片或抗蝕層。ASP-2000X能夠產生極精細的細節,可以深埋50 µm。該系統使用專門的照明單元,用感光材料、感光器和光活性化合物組成的感光化學材料,將AND塗覆在基板表面。然後將感光材料暴露於光中以創建圖像。曝光被控制並記錄下來,允許用戶根據自己的要求定制流程。調整光的強度和波長以產生所需的分辨率。一旦曝光完成,基板就會經過一個對齊站,在那裏,基板被精確地註冊並對齊,達到高達0.1µm的精度水平。專門的蝕刻頭是用來蝕刻掉暴露的區域。蝕刻頭是可調的,以允許不同厚度的基板。最後,基材再經過烘幹機,使裸露區域變硬。AND ASP-2000X的主要特點之一是其集成的自動化過程控制(APC)單元。這臺機器允許對流程進行實時監控,允許用戶在必要時在曝光期間對流程進行調整和更正。此外,可以對APC工具進行編程,以存儲多個暴露參數,並且能夠進行自學,從而對其進行優化以提高生產能力。ASP-2000X是一項非常先進的資產,旨在提供卓越的圖像分辨率、高精度和可重復性。其集成的APC模型允許實時監控和控制,而其易於使用的界面使得該領域的新手可以訪問。該設備非常適合研究和工業應用。
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