二手 AND ASP-2000X #9409925 待售
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ASP-2000X是一種光阻設備，旨在支持廣泛的微電子和光電過程。它由精密光學、成像、處理和控制模塊組成,這些模塊結合在一起可提供高性能、經濟高效的光刻膠解決方案。該系統提供兩種不同類型的曝光,激光和光.激光曝光單元在193至400 nm的波長範圍內工作，單次曝光的曝光時間可控在0.5至999秒。該機配備了高分辨率的平面場投影光學器件，數值孔徑為0.5。它在非常寬廣的區域內提供出色的平地照明。光照工具的最大曝光時間可達999秒,工作波長範圍為400至750 nm。它具有比激光資產更短的曝光時間，並且提供高速的可編程平地投影儀。該模型包括一個掃描機制，允許基板在曝光過程中移動。這使操作員能夠確保曝光在整個基材體積上。掃描運動可以在三個不同的方向：X軸、Y軸和Z軸。該設備包含一個圖像處理器，允許用戶以高精度控制曝光參數和獲得的圖像。圖像處理器還可用於比較暴露區域的圖像與寫入系統的精確坐標,如果發現差異,請采取糾正措施。該單元集成了一整套控制功能,提供遠程操作和控制以及數據日誌記錄。它還與各種其他系統連接,從而實現最大程度的控制和靈活性。ASP-2000X光刻機為用戶提供了光刻操作的最高精度和精度。該工具用戶友好、快捷,並且為各種微電子和光電子應用提供了靈活、經濟高效的解決方案。
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