二手 APET FCL-0119 / NEO 2000 #9184969 待售

NEO 2000 APET FCL-0119是一種光刻設備，由旋轉塗層、K751-X熱板和晶片對準組成。該系統設計用於半導體應用的最佳光刻沈積和晶圓對準。NEO 2000 APET FCL-0119的自旋塗層由一個集成的自旋塗層站組成，設計用於光刻膠溶液的高精度自旋。它配備了一個網頁驅動馬達，可以精確控制旋轉速度和加速度。自旋室通風，用可調節的溫度和濕度傳感器控制，提供一致的沈積環境。K751-X熱板是一種可靠、高效、低熱的熱板，用於確保光刻膠膜在基板上的準確熔化和擴散。溫度保持在其預設值的0.1°C以內。它具有一個集成的工作站，用戶友好的界面和精確的微電動機驅動器與低噪聲操作。晶圓對準是近地天體2000APET FCL-0119光刻裝置的重要組成部分。這是一種高度精確、低噪聲的矩形結構設計，可以在自旋塗層沈積過程中精確對準和配準晶片。這有助於用光敏膜完全覆蓋晶片表面，從而減少光敏均勻性的變化。近地天體2000APET FCL-0119光刻機為跨半導體器件的高精度光刻塗層提供了一個全面、集成的解決方案。該工具簡化了工藝，確保光刻膠均勻沈積在基板上，並最大限度地減少了光刻膠均勻性的變化。集成的用戶界面允許快速有效地對準和調整自旋塗層沈積參數和晶片，以確保最佳沈積質量和可重復性。