二手 APPLIED MULTILAYERS CFM 650 #9251234 待售

APPLICED MULTILAYERS CFM 650是一種基於光活性聚合物層（PALS）的化學和機械性質的光敏系統。它設計用於玻璃、半導體材料和塑料等基板上的多層堆叠層，用於微機電系統（MEMS）和其他集成電路制造。CFM 650與APEX系列的Exposure and Development系統協同工作,以提供真正創新的無掩碼平版印刷解決方案。APPLICED MULTILAYERS CFM 650包含許多功能,使其非常適合MEMS應用。它有一個牛津儀器ACE3000自動對齊器，可以精確地定向基板，使其與CFM 650對準，精度在1 µm以內。這樣可以確保精確設置工藝參數以獲得最佳結果。此外,APEX控制軟件還控制大量單個層的堆積,這些層的厚度可達10 µm,並具有多達12層的堆積。這是使用UV-固化樹脂來得到高於平均水平的聚合物層均勻性在高度復雜的3D結構。光阻系統還可以通過改變脈沖重復率、激光功率和聚焦位置來控制激光曝光參數。它還可以使用Aculon數字顯微鏡管理開發的光刻膠圖樣從暴露的基板到目標基板的轉移參數。它還集成了一個氟定（包裝）站，該站允許將已完成的產品包裝在蝕刻盒包裝中，以便進一步整合到MEMS產品中。最後,應用多層CFM 650光刻膠系統提供了高精尖、精確的MEMS制造.其特點為無掩模光刻工藝提供了必要的控制和光刻層的均勻性，以保證最終的結果。此外，它在完全蝕刻的情況下自動轉移和包裝完成的MEMS產品的能力進一步提高了可靠性。