二手 APT 3025 #49738 待售
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單擊可縮放
ID: 49738
晶圓大小: 12"
Auotmated Single wafer spin coater, 12"
Used for photoresist and polyimide
Unit has programmable cycles
Unit has a robot to load wafers from a cassette
Automatic coating of up to 12" round substrates (wafer)
Footprint is approximately 3'x5'
Stainless steel frame and stainless steel skins
Robotic handling system for pick-and-place substrate handling
Direct drive brushless servo motor with spin speed control of 50-3500 RPM
1% (max. speed dependent on substrate mass)
Metal process chamber with removable polypropylene process insert
Selection of up to 3 different dispense systems
Programmable dispense arm for static dispensing
Removable polypropylene process cup
Fluid and pneumatic control panel for flow control, pressure control and valves
Microprocessor controller based on STD bus system for 99 programmable recipes
Alphanumeric LCD display unit with 4 lines x 40 characters
Menu driven software including diagnostics
Photo resist Dispense System consisting of:
Cyborpump resist dispense
Filter
Pump Controller
Chuck Cleaning System consisting of:
Programmable chuck cleaning system
Solvent nozzle
Valve
Solvent Canister Kit, including:
Pressurized 2 gallon solvent canister
regulator
Filter
Valve
Maximum pressure for N2 = 60 PSI
As-is.
APT 3025是一種高性能的光阻設備，設計用於制造半導體工業中的集成電路（IC）組件。它是一種先進的蝕刻系統，利用光刻塗層作為金屬層和基板層之間的保護層。這種光致抗蝕劑層被設計成能夠吸收和保持通過設備的光子，從而在基板層和金屬層之間提供一個屏障。3025光敏裝置由三個不同的組成部分組成：光敏塗層、基板傳遞機和紫外線光源。光敏塗層是一種特殊的材料，能夠吸收可見光，從而可以精確地形成線條或形狀的圖案。然後在基板傳遞工具的幫助下，該層以均勻的方式轉移到基板上。紫外線光源用於用紫外線照射光敏層，使線條和形狀被蝕刻到基板層中。APT 3025資產利用多種組件來確保光刻膠層具有最高質量和最高完整性。例如，基板傳遞模型被設計為用特殊的化學處理處理光刻膠層，以確保光刻膠層是均勻的，沒有任何瑕疵。此外，紫外線光源經過專門設計，可以為所需的任務提供最佳的輻射量。在半導體工業中，精確度和精確度是生產高質量IC元件的關鍵因素。3025光刻膠設備是為滿足這些需求而設計的，因為它可以使光刻膠層的放置和蝕刻極為精確。這種最先進的系統能夠以非常細的線條和極高的特征清晰度創建復雜的圖案,從而在制造過程中提供非常高的精度。APT 3025還包含了其他一些高級功能,使其能夠執行的任務不僅僅是蝕刻。例如，它還配備了一個抗蝕劑剝離裝置，用於去除蝕刻過程後遺留下來的任何多余的光致抗蝕劑。此外,它還能夠進行模式優化,以便能夠適應任何給定的應用程序。此外,諸如可變掃描頭速度和可變曝光時間等功能使流程能夠根據每個項目的具體需求進行定制。總體而言,3025光刻機是一種功能強大且高效的工具,可用於精確、精確、高效地制造IC組件。其先進的特點，如抗蝕劑剝離工具、可變掃描頭速度和可變曝光時間，使得它成為一個極具靈活性的資產，可以為輕松執行各種任務進行優化。憑借其能力，該模型是半導體行業的寶貴資產，在未來幾年肯定會成為制造領域的重要組成部分。
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