二手 APT 9145 EP #9124776 待售

APT 9145 EP是在研究、半導體、微電子、薄膜太陽能電池和醫療器械行業中，為晶片提供最高分辨率圖樣設計的光阻設備。系統使用預定義的帶有照明模式的投影面罩,使基板在單個周期內能夠在不同位置曝光。這種投影使得小至42 nm的特徵可以在基板上圖樣化。該裝置采用先進技術的光學機器，配有集成透鏡，確保了要求苛刻的光刻應用的最佳均勻性和準確性。該工具還帶有一個可調運動階段和全自動曝光過程，可重復和統一的過程。該資產利用線性投影遠心電動機來確保模式焦點和尺寸在基板的每平方毫米上始終保持不變。這樣可以確保以一致的精度創建陣列。該型號隨附的軟件對用戶友好,可幫助用戶優化光刻設備的參數,從而在設計基板時為用戶提供了豐富的選擇。此外，該軟件允許用戶快速存儲和回憶不同的參數，允許重復和準確的結果。在後處理方面，該系統具有多種選擇，有助於確保在保持最佳基板穩定性的同時，對有圖樣的基板進行完全清潔。備選方案包括使用臭氧、鹵仿和二氧化硫，以便以最小的損害徹底清潔底物。該機還有一臺水冷卻機，可用於在暴露過程中穩定基板溫度。該工具有助於減少熱損傷，並確保基板在加工過程中保持冷卻。簡而言之,APT 9145EP是一種功能強大且可靠的光阻設備,可為用戶提供各種基板陣列應用程序所需的大量精度和精確度。