二手 ARGUS INTERNATIONAL 9324 #9026013 待售

ARGUS INTERNATIONAL 9324是一款高精度的光阻設備，專為微機電系統（MEMS）生產中的專業用途而設計。該系統允許使用數字光處理（DLP）平臺通過其獲得專利的無掩碼光刻工藝進行精確曝光。其廣泛的波長範圍使用戶能夠試驗各種抗蝕劑和材料。此外，曝光時間是可調的，這允許更精確的結果。9324使用可以切換/控制的固態光源提供不同的波長。這使其成為微微和亞微光刻項目的理想選擇，並為各種物體提供了最佳聚焦條件。與其他光刻膠系統相比，ARGUS ARGUS INTERNATIONAL 9324保證了卓越的長期安裝穩定性和最低維護要求。它還具有一個自動校準單元，確保在任何時候精確暴露劑量。9324提供的全視野為10「至6.14」，而矩形結構的最大分辨率為40 µm，圓形結構為80 µm。它可以處理高達8 「x 6.14」的樣品，其高保真度和準確性為不同蝕刻提供了最佳條件。該機配備了涵蓋多種應用的廣泛程序，如層蝕刻、厚薄氧化物層、致密薄金屬層、防護塗層等。此外，所有與光刻膠相關的工藝都可以通過ARGUS INTERNATIONAL 9324提供的自動化控制工具進行監控。該資產允許用戶調整曝光時間、劑量和工藝數量，以及監控開發、成像和蝕刻。9324在多功能性和性能之間提供了極好的平衡。它獲得專利的無掩碼光刻技術確保了高精度，並且可以很容易地與市場上現有的大多數生產系統集成在一起。因此，這種光刻膠模型為大學研究實驗室或生產線設施提供了理想的解決方案。