二手 ASML 1150i #9197838 待售

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ASML 1150i
已售出
製造商
ASML
模型
1150i
ID: 9197838
Immersion Lithography tool.
ASML 1150i是利用先進成像技術快速準確識別光電元件及相關光刻元件用於晶圓處理的光刻設備。它具有先進的激光系統,具有波長優化的照明設置,一系列的成像傳感器,以及強大的處理平臺,以實現精確的光阻測量。該系統適用於p型和n型光刻膠,具有準確識別材料和相應電信號的能力。它具有自動曝光控制和對齊檢測以及圖像優化算法,以確保最高質量的結果。集成圖像處理功能還提供自動校正和顏色識別,以獲得最佳的光刻膠識別性能。1150i結合高速波束轉向機構,確保最佳信號檢測和捕獲。它還配備了先進的信號適應方法,以便在存在背景噪聲的情況下進行檢測。此外,綜合電源監測裝置提供兩個獨立的電源通道,以確保光刻膠系統的可靠和可重復運行。作為多通道單元,ASML 1150i可以同時測量多個光刻膠通道,每個通道每秒提供6-10張相框。這種高分辨率成像能力允許進行詳細的光刻膠檢查和分析。除了成像功能外,1150i還具有自動化校準模式,方便調整不同樣品成分的設置。該軟件還允許用戶配置機器,以便與光刻膠生產站點輕松集成。其直觀的用戶界面、全面的分析工具和快速的操作使ASML 1150i成為識別光刻膠元件和特性的可靠解決方案。利用最佳的元件和先進的圖像處理技術,該工具提供了一種經濟高效的解決方案,可以準確可靠地測量晶圓加工中的光刻膠。
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