二手 ASML / SVG 90S #9197270 待售
網址複製成功!
單擊可縮放
ID: 9197270
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
DUV System, 8"
Model no: 9068
Top assembly P/N: 99-47302-01
Sub assembly P/N: 99-40407-03
Includes:
Interface block
SVG End station P/N: 99-48240-01, 9062
MICROBAR P/N: Trackmate
SVG Semifab precision air handler P/N: 224-203, RAM 2000/480/SVG
EPE Technologies transformer P/N: 8-77115-07
DONALDSON Carbon filter system P/N: P196160
Miscellaneous panels / Covers / Hardware
Power requirements: 208 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
1995 vintage.
ASML/SVG 90S是一種光刻設備,利用深紫外線成像和光能相結合,在晶圓上創建圖樣。該系統專為半導體工業而設計,提供卓越的精度和特征尺寸的可重復性。SVG 90S是一個進化單元,它提供了最高的曝光波長精度和特征大小可重復性。它具有先進的光學組件,可提供完整的視野,並具有嚴格配置的最大數值孔徑。該機結合了曝光投影成像工具、先進的光學元件和選擇的光源,提供多層次的光能強度。ASML 90S利用模式識別算法將光能輸出與每個設備級別的投影模式相匹配。這大大提高了特征的準確性和可重復性。該資產采用高速曝光算法進行設計,該算法允許較短的曝光時間和較快的運行速度。這可以提高過程的可靠性和優化。該模型旨在對大小特征尺寸進行高效、準確的處理。它還為關鍵層提供了可重復的過程。這對於半導體工業創造錯綜復雜的細間距特征極為重要。90S非常用戶友好,具有直觀的圖形用戶界面,並獲得了認證系統的認證。它具有操作員和設備保護的綜合安全功能。綜上所述,ASML/SVG 90S是一種高精度成像和光能組合設備,具有卓越的精度和特征尺寸可重現性。它結合了先進的光學裝配元件和一個過程算法,以準確和高效地創建復雜的模式。它具有直觀的控制和安全功能,可確保可靠和安全的操作。這種光致抗蝕劑系統是半導體工業的寶貴資產。
還沒有評論