二手 ASML XT 1900Gi #9298751 待售

ASML XT 1900Gi是由半導體行業領先的光刻設備供應商ASML開發的光刻設備。該系統是一種光刻工具，用於半導體器件制造工藝，在半導體晶片上創建圖樣。它基於深層紫外線光刻單元，用於在晶圓上創建高精度圖案。該機器采用電子束曝光源和水星弧光源。該工具的曝光源具有廣泛的波長範圍-從147 nm到193 nm,具體取決於應用程序。曝光源還具有可調節的激光快門和標線參數。該資產配備了先進的光學模型，將光學設計與分焦技術相結合。該設備具有最先進的晶片卡盤，旨在減少顆粒汙染和減少光學降解。該系統的光致抗蝕劑處理由一個先進的控制器控制，它可以精確控制過程的一致性和精確度。該裝置與各種化學物質兼容，支持溶劑和幹蝕刻工藝。除此之外，該機還能處理包括ArF、KrF和I-line在內的多種光敏材料。該工具還可以用作曝光工具，因為它具有多通道、高分辨率的晶圓步進器。步進器具有高分辨率直線電機和快速軸補償技術.此外，資產還配備了一個大型卡盤，能夠處理最大600毫米尺寸的基板。該模型的高級自動化功能為管理生產運行提供了高效可靠的解決方案。它與ASML Automation Server集成,使用戶能夠輕松管理和優化生產過程,以及監控和控制位於中心位置的所有生產運行。除了設備的自動化能力外，該系統還配備了一個化學輸送裝置，允許控制化學物質輸送到接觸源進行蝕刻、抵抗和清潔過程。機器還配備了樣品管理工具，為樣品處理提供了高效的工作流程。總體而言，ASML XT:1900GI光刻資產是光刻應用的一種強大而可靠的曝光工具。它提供了高度的過程準確性、自動化能力和靈活性。該模型是在晶圓上創建高精度半導體圖樣的經濟高效的解決方案。