二手 AXCELIS / FUSION R850 #9134042 待售

AXCELIS/FUSION R850是半導體工業中用來在基板上產生電路圖樣的光阻設備。它是現有的最先進的抵抗帶工具,為推動制造創新和性能提供了高度通用的平臺。FUSION R850利用先進的光刻技術和蝕刻工具集來實現多種材料的抗剝離應用。它具有混合開環/閉環控制系統，以適應復雜的流程流。Open-Loop Control算法利用預測控制算法來補償晶片對晶片的光敏曝光和蝕刻性能變化,從而使用戶可以更好地控制過程流。閉環控制單元可通過實時反饋實現現場層對層計量,以確保可重復性和精確的圖像分辨率。AXCELIS R850機的核心是FUSION專有的Open Process Champion Technology。此軟件驅動的分析工具提供了對流程數據和趨勢的實時分析,可用於完善配方和縮短周期時間。這種在工藝優化中的靈活性為更高的產量和更大的阻抗帶工藝流程控制鋪平了道路。R850工具支持各種光敏材料。該資產能夠處理用於生產功能高達20納米的半導體器件的微米級微光刻工藝。此外，它還采用先進的顆粒去除策略和自動抗剝離缺陷檢測，提供了最優收率。這種精密的光刻膠模型旨在降低成本，改善工藝流程，提高產量。通過優化配方,AXCELIS/FUSION R850設備可幫助制造商更高效地生產半導體器件,同時提高最終產品的質量。