二手 AXCELIS / FUSION R850 #9144806 待售

AXCELIS/FUSION R850是一種用於光刻工藝的高性能光刻設備。該系統結合了多項功能,為關鍵光刻應用（如高級邏輯、內存和顯示應用程序）提供經濟高效、可靠且可重復的結果。它旨在滿足晶圓處理最苛刻的全球市場要求，其易於使用的圖形用戶界面為研究、工程和生產人員提供了優化所需設備特性所需的信息。FUSION R850的特點是具有高頻氙氣填充燈、快速TTL曝光控制、卓越的高精度加工光學器件以及先進的環境控制設計，使用戶能夠精確調整設備。這些組件結合起來，提供了一臺高精度的光刻機床，在1k λ面罩上具有5.1微米的高密度分辨率能力，總刀具均勻度在0.5%或更低。該資產還為高級IC設計提供高對比度成像，並具有廣泛的鏡頭功能，包括接觸光刻和單層閘門圖案等專門工藝。此外,該模型還集成了自動端點檢測和晶片加載功能,可最大程度地減少用戶幹預,並實現高達30%的生產吞吐量增長。其先進的曝光控制設備包括一個可選的動態GPSM模塊，允許用戶實時精確管理系統參數，從而在結果中實現最高的可重復性。為了確保處理晶片時的最大效率，AXCELIS R850有一個可選的Loadlock，允許用戶在編程前在單元中傳輸和存儲多達十個晶片盒帶，允許連續操作而無需操作員幹預。此外,該機器還具有熱插拔盒式磁帶機制,使操作員能夠在工具運行時使用晶片切換盒式磁帶。資產與PCS Process Planning Software的兼容性確保了與R850結合使用時的最佳設備特性和生產收益。這些特點，加上其可靠性和成本效益，使得AXCELIS/FUSION R850光刻膠模型成為許多需要精確光刻結果和高質量產量的行業專業人士的選擇。其卓越的功能確保其用戶對快速變化的全球IC市場的要求做好充分的準備。