二手 BREWER SCIENCE 200X #9400327 待售

BREWER SCIENCE 200X是一種晶圓加工光刻設備，旨在提供改進的工藝控制優化、低排泄率和提高產量。光致抗蝕劑是一種光敏材料，用於制造微晶片等器件。200X系統可用於通過光掩模曝光光刻膠和開發晶片以創建所需的圖樣。BREWER SCIENCE 200X光致抗蝕劑單元包括幾個組件。其中包括頂板、底板、曝光頭和光源。頂板上有光掩模，底板上裝有光刻膠。曝光頭由光學器件組成，這些光學器件的設計目的是將所需的光圖樣精確地聚焦到光致抗蝕劑上。光源是波長在197 nm和248 nm範圍內的高強度光源。200X機器可用於繪制具有多種特性的高精度光刻膠圖樣。該工具旨在保證長期、可靠和可重復的過程控制。它特別設計為能夠處理具有小型功能（如高級集成電路所需的功能）的光掩碼。BREWER SCIENCE 200X還提供先進的過程控制和優化工具。其中包括一個過程控制器，用於監測和管理暴露過程以及晶圓的水冷、預烘烤和後烘烤等過程。其他工具可用於實時監測光刻塗層厚度和圖像對比度以及收集工藝數據。此外,200X光刻膠資產還提供了一個用戶友好的基於PC的軟件界面。這允許用戶遠程訪問和控制模型,包括調整曝光和流程參數的能力。該設備還可與自動視力檢查系統結合使用，允許自動檢查光刻膠圖像，以便檢查圖樣和檢測缺陷。總體而言，BREWER SCIENCE 200X光敏裝置為晶片加工提供了有效的工具，改進了工藝控制優化，降低了排便率，提高了產量。它提供了先進的過程控制和優化以及用戶友好的基於PC的軟件界面。該機非常適合設計具有多種特點的高精度光刻膠。