二手 BREWER SCIENCE Apogee bake FL #293659674 待售

BREWER SCIENCE Apogee bake FL是一款最先進的光電抗蝕劑設備，設計用於薄膜抗蝕劑系統的部署。該系統適用於高容量的光刻需要，允許快速、可靠和可重復的過程。該單元的工作原理是同時控制對光刻膠施加的自旋速度和加工時間，然後在晶片表面上烘烤抗蝕層。該機采用獨特的「自旋烘烤」方法，創造出均勻可靠的塗層。這種方法涉及基於微調的塗層，然後在封閉環境中進行高精度烘烤。采用這種方法，將抗蝕劑以恒定流量和無揮發性有機化合物的環境應用於晶片。使用精確加熱元件和傳感器可實現高精度烘烤。該工具能夠準確監測溫度和時間，確保熱量分布均勻。烘焙室的尺寸經過優化,可均勻分布高達230°C的溫度,從而縮短烘烤時間。Apogee bake FL還具有高級自動化軟件,使用戶能夠創建自動化配方、處理文件和控制參數,以根據特定需求對資產進行微調。用戶將能夠對子系統進行編程，以優化其結果，如帶狀皰疹送料機的速度和時間、旋轉器的停留時間、滲透室的速度、溫度設定點等參數。此外,該型號還配備了一系列板載加工配方。除了工藝自動化之外，這些設備還具有若幹安全和環境保護功能，如溫度的自我監測、低化學品排放和高效節能技術。這確保了工作場所的安全和環保環境。BREWER SCIENCE Apogee bake FL是一款先進高效的光刻系統，旨在滿足大容量光刻需求。它提供均勻的塗層、精確的溫度控制、自動化的配方以及一系列的安全和環境特性。利用該單元，用戶可以獲得可重復和可靠的結果，確保他們在眾多光刻應用中的成功。