二手 BREWER SCIENCE Apogee spinner FL #293651589 待售

The Brewe Science BREWER SCIENCE Apogee spinner FL is a photoresist equipment designed for industry spinner lithography process.它是一種經濟高效、頻率控制的光敏塗層系統，能夠塗覆直徑從4英寸到12英寸不等的基板。該單元設有一個或兩個配電室，每個配電室可同時分配熔融的光致抗蝕劑和各種液體或混合物，用於自旋塗層，最多四個基板。這允許在基板的整個表面積上應用厚度均勻的光致抗蝕劑，從而減少了與傳統自旋抗蝕劑相關的時間和成本。光刻機由一個主軸組成，位於旋轉基板的正下方。主軸由一個頻率控制的電動機驅動，該電動機連接到一個不銹鋼軟管上，該軟管將光致抗蝕劑帶到基板上。軟管末端裝有噴頭狀噴嘴，精確分配熔融的光刻膠。熔融的光致抗蝕劑釋放在基板的正上方，並通過離心力推向表面。這會在基板的整個表面積上形成一個均勻的光致抗蝕劑層。高強度紅外（IR）燈安裝在主軸底部，用於固化在基板上的光刻膠。紅外燈由外部電源供電，通常是電源逆變器，為燈提供啟動固化過程所需的電源。此外，旋轉器還配備了溫度控制器，精確調節熔融光刻膠的溫度，以確保精確的固化效果。光致抗蝕劑工具設計方便用戶，易於操作，需要最少的培訓和校準。該資產具有直觀的用戶界面和各種顯示選項,用於監控流程並確保最佳性能。此外,該模型還可以根據每個客戶的獨特需求和要求量身定制,使其成為工業微調光刻工藝中用途極為廣泛且經濟實惠的選項。