二手 BREWER SCIENCE CEE 100CB #9165200 待售

ID: 9165200
晶圓大小: 8"
Photoresist spinner hotplate, 8" Coat bake wafers.
BREWER SCIENCE CEE 100CB是一種光阻設備,設計用於制造先進的微電子和半導體器件。該系統采用光引發聚合和使能技術的獨特組合,以實現優越的圖樣保真度、高分辨率和有效利用光掩模曝光能量。本產品由一種光活性環氧樹脂基材料組成,該材料自旋施加到晶片基板上,然後暴露在定制的掩模下。此蒙版包含透明窗口和不透明墻壁形式的所需設計的設計模式。暴露後,環氧材料沿著掩模圖案的邊緣精確聚合,形成硬化的微觀尺度結構,忠實地復制掩模開口和墻壁的形狀和大小。聚合材料隨後用作後續蝕刻過程的物理掩碼,從而產生所需的器件圖樣。BREWER SCIENCE CEE 100 CB材料表現出出色的分辨率、圖樣控制和掃描電阻,適用於50微米以下設備的錯綜復雜的圖樣化。此外,CEE 100 CB的能效允許大規模模式的經濟聚合,從而提高吞吐量和產量。CEE 100 CB通過利用高性能光啟動器封裝優化光中間濃度,提高晶圓工藝深度和均勻性。BREWER SCIENCE CEE 100CB光刻裝置是一個經濟高效的解決方案,設備制造商尋求高分辨率和可靠的模式性能。它將性能和能效相結合,能夠更快、更可靠地生產具有復雜模式和微觀特征的設備。BREWER SCIENCE CEE 100 CB機是需要精確高效的模式生成以滿足先進設備制造需求的制造商的理想選擇。
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