二手 BREWER SCIENCE CEE 1100 Custom #136934 待售

ID: 136934
Programmable vacuum hot plates for up to 500 x 500mm substrates PID temperature programmer Maximum temperature: 280°C with 0.1°C resolution (10) User programs for bake temperature, time, and bake method Bake methods: proximity, soft, or hard contact Lift frames: fully programmable controlled loading of substrate onto hotplate Auto cooling cycle to speed cool-down.
BREWER SCIENCE CEE 1100是一款定制的光刻設備,專為生產更精細、更復雜的結構而設計。光致抗蝕劑是一種聚合物材料,它被施加在基板上,然後暴露在光線下,以便形成圖樣和結構。CEE 1100由化學制劑、綜合曝光和成像系統以及化學開發過程組成。此特定產品專為最復雜的光刻工作流程而設計。CEE1100的化學制劑由含有三種成分的粘合劑組成;有機膜形成,一種有助於交聯的酸性化合物和引發粘合劑聚合的引發劑。這種配方允許快速曝光、高分辨率成像和蝕刻,以及對廣泛波長的高靈敏度。綜合曝光成像單元由產生正確類型光源的輻射源、聚焦光源的透鏡和可調節的關節臂組成,以確保光照強度正確,使光刻膠曝光。此外,它還提供了曝光後光刻膠的圖像,允許用戶在開發光刻膠之前檢查圖像質量並進行任何必要的調整。最後,化學顯影過程使用酸性顯影劑溶解任何未暴露的光致抗蝕劑。這會在曝光機器所產生的曝光光刻膠中留下圖案。開發人員可以制定各種時間/溫度協議,使過程與不同的基板和應用兼容。綜上所述,BREWER SCIENCE CEE 1100 Custom photoresister tool旨在為用戶提供光刻高級功能。它包括一個創新的化學制劑、一個綜合的曝光和成像資產以及一個化學品開發過程,以便能夠更快和更復雜的曝光、成像和蝕刻過程。借助CEE 1100,用戶可以以更高的精度和速度生產出更精細、更復雜的結構。
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