二手 BREWER SCIENCE CEE 2100 #77373 待售

BREWER SCIENCE CEE 2100是一種光阻設備，用於半導體制造，以蝕刻或「開發」微電子器件等產品的特性。光致抗蝕劑系統用於在基板表面創建負圖像,以便蝕刻或移除材料以創建所需的形狀或圖案。CEE 2100是為生產高價值微電子器件和微結構元件而設計的先進光阻系統。BREWER SCIENCE CEE 2100光刻裝置具有真空cha&mbsp； mber、基板支架和晶圓處理機,用於快速、高效的基板裝卸。CEE 2100工具還包括一個獨特而高效的雙級成像組件，它為基板表面提供了最佳的光阻覆蓋。光致抗蝕劑剝離器是一種專用工具,用於從基板表面去除多余的光致蝕劑材料,基板清潔劑用於在塗覆光致蝕劑之前清潔基板表面。光致抗蝕劑工藝始於表面活性劑、溶劑和清潔劑用於制備塗層的預處理或預清潔循環。預處理循環之後是塗層循環，用於在基板上塗抹均勻、精確的光敏材料層。光致抗蝕劑隨後暴露於電磁輻射中，用於激活光致抗蝕劑，並將所需的圖案印在基板表面上。然後采用曝光後處理，以進一步完善圖像。光致抗蝕劑經過硬化和顯影，使光致抗蝕劑可以留在基板表面上，同時排除所需的圖案。經過開發後，在濕的化學浴中沖洗各部分，將光致抗蝕劑從基板表面的剩余區域中溶解出來，並留下所需的圖樣。光刻膠工藝的最後步驟包括曝光後的基材清洗和沖洗，這有助於從基材表面去除殘留的光刻膠材料。BREWER SCIENCE CEE 2100資產專為先進的微電子和微結構元件而設計，提供可靠、高效和準確的光刻加工工藝。