二手 BREWER SCIENCE CEE 3000 #9253480 待售
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BREWER SCIENCE CEE 3000是一款下一代的超高分辨率光電抗蝕劑設備，設計用於開發高端的半導體應用。該系統由一個抗蝕劑配電臺、化學品供應和輸送模塊、校準站和一個強大的光源組成。抗蝕劑配電臺利用SiroccoHapTec專利的抗蝕劑配電技術，在具有小特性的半導體晶片上安全準確地放置光致抗蝕劑。這確保了晶片的精確呈現與強大的光源對準和成像。化學品供應和交付模塊的設計是為了提供一致和精確的光抗蝕劑和開發人員的供應和交付。校準站配備獨特的EasyCal軟件，允許精確的抗蝕性校準，從而實現出色的分辨率和模式傳遞。液晶屏顯示器用於精確控制曝光時間和強度的光的抗蝕劑圖樣。它還提供簡單的圖形用戶界面來控制晶圓曝光。強大的光源用於光刻，能夠產生強烈、均勻的光。此光源能夠為高級功能尺寸提供高容量吞吐量,並提供巨大的曝光時間靈活性,以滿足各種工藝需求。CEE 3000被設計為一種先進的、易於使用的光刻裝置，它簡化了光刻加工，使先進的半導體生產成為可能。這臺機器非常適合使用微電子材料、薄膜材料和半導體。該工具的精確抗成像功能、精確校準和強大的光源,使用戶能夠快速、輕松地生成復雜和復雜的圖案。
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