二手 BREWER SCIENCE CEE 4000 #293745108 待售

BREWER SCIENCE CEE 4000是一款光刻設備，專為高分辨率特征再現而設計。該系統采用高分辨率光學單元和基板上附加的一層光致抗蝕劑，以獲得最大的特征再現質量。機器具有可變聚焦功能,允許不同級別的特征細節。該工具還具有獨特的可變角度光束,可提供特征邊緣的高對比度成像和更好的陣列控制。BREWER SCIENCE 4000資產由光源和光刻膠模型兩大組成。光源利用激光二極管，具有可調節的焦點和可調節的角度光束輪廓，以提供精確的成像。這為具有挑戰性的特征復制提供了準確和可重復的模式。CEE 4000還具有可變功率控制功能,可提高吞吐量和降低設備復雜性。光致抗蝕劑系統是設備的關鍵部件，利用加熱的應用板為光致抗蝕劑材料提供均勻一致的應用和曝光。應用板的溫度為50°C至80°C，可精確控制應用過程和光敏材料的加熱。4000還具有數字可控的停留時間,可精確控制每層的曝光時間。BREWER SCIENCE CEE 4000具有自動化的過程監控功能,允許可靠且可重復的特征復制。通過消除可變性和降低復雜性，BREWER SCIENCE 4000允許最大的特征再現質量。CEE 4000還提供快速處理、更快的冷卻時間和優化的控制參數,從而提高了吞吐量。為了最大限度地提高特征復制質量,同時保持高吞吐量,4000利用了多個過程。這些過程包括調平、清潔、幹膜開發、幹膜開發驗證、光學計量和最終特征驗證。BREWER SCIENCE CEE 4000還利用內置的過程設計軟件來支持最佳特征再現。總體而言，BREWER SCIENCE 4000是一款專門為優化特征再現而設計的先進光刻機。利用先進的光源、加熱的應用板和自動化的過程監控，CEE 4000允許可靠和可重復的特征再現。通過提高吞吐量、精確的控制參數和快速的處理時間,即使是最具挑戰性的特征復制應用程序,4000也能提高效率和質量。