二手 BREWER SCIENCE CEE C100 #9192231 待售

BREWER SCIENCE CEE C100（Chemically Enhanced Etching）是一種光刻設備，用於支持微加工過程中的蝕刻特征。該系統使用獨特的工藝將樹脂基抗蝕劑粘合到被蝕刻的材料上。CEE C100裝置采用了專門設計的反應性中間體前體，以改善抗蝕劑與基材的結合，而不是像傳統的光致抗蝕劑那樣依賴膜的絕對化學附著。BREWER SCIENCE CEE C100機的設計是為了實現傳統光刻膠的功能，同時增加了更好的抗撕裂性能、相對於基板的附著力提高以及卓越的化學蝕刻性能。更好的抗蝕劑附著在基板上，可以提高蝕刻窗的精度，提高蝕刻特征的分辨率。要開始這一過程，材料表面準備最大限度地發揮它與光敏層之間的化學相互作用。對表面進行脫脂後，應用專有前體，然後允許與表面發生反應。這種反應有助於將抗蝕層牢固地粘合到基板上，為蝕刻特征創造理想的層。然後,光致抗蝕劑層以所需的形狀暴露於陣列光源中。裸露的區域會變成化學惰性和溶解性，不受蝕刻化學品的影響，而未暴露的區域仍會受到蝕刻介質的影響。然後允許蝕刻過程進入所需特征的深度和形狀。蝕刻過程完成後，剩余的光刻膠層被剝離基板以完成工作特征。CEE C100工具提供了高達20倍的改進，從傳統的抗蝕劑蝕刻阻力，提高蝕刻窗口精度和清潔功能被蝕刻。總體而言，BREWER SCIENCE CEE C100資產旨在提高光刻劑的蝕刻精度、分辨率、耐化學蝕刻性、附著力和自平整性能。提高的蝕刻窗精度、更均勻的蝕刻深度和更高的產量，使得該模型成為那些希望提高精確度和可重復性以滿足其微觀制造需求的人的理想選擇。