二手 BUHLER / LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION #293771029 待售
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ID: 293771029
Optical coating machine
Stainless steel chamber
Optical monitoring system
(2) Polarization filters
Water cooled
Water distribution system (Warm / Cold)
Calorimetric water flow sensor
Electrical cabinet
Graphical User Interface (GUI)
TFT Touch screen, 19"
Uninterruptible Power Supply (UPS)
Remote service system
Material: Stainless steel
Vacuum pump
High vacuum flange size: DN500
Pumping capacity: 300 m³/h
Final pressure: 5x10-3 mbar
Cryo pump type: Coolvac 10000 iCL
Compressor unit type: Coolpak CP 6000
Gas flow range: 1.6-300 SCCM
LION 300 RF-Plasma source
Line voltage: 3 AC 400 V / 230 V
Frequency: 50 Hz
Substrate drive:
Adjustable speed range: 3-33 1/min
Rated power: 25 kW
Substrate load: 250 kg
Substrate heater:
Heater power: 52 kW
Temperature: 300°C
Chamber:
Inner diameter: 350 mm
Inner height: 1550 mm
Features:
Manual mode (Preparation service and maintenance) / Automatic mode (Machine / Process control)
Electron beam evaporator:
Deflection: 270°
Power: 6 kW
Crucible diameter: 320 mm
Floor space: 35 m²
Power supply: 10 kW, 13156 MHz, 1000 mA, AC 0-6 V.
BUHLER/LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION是為先進半導體制造應用而設計的高性能光阻設備。該系統提供精確可靠的光阻處理能力,使其成為制造集成電路、MEMS設備和其他微電子元件的理想解決方案。BUHLER Syrus Pro 1350 LION單元的核心是其先進的光刻技術，使光刻石層在半導體基板上實現精確的圖樣化。該機具有高分辨率的掩模對準器和亞微米的對準精度,能夠以卓越的精度創建復雜和復雜的陣列。這種能力對於實現現代半導體制造工藝所需的緊密尺寸公差至關重要。LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION工具的主要特點之一是它能夠容納各種光刻材料,包括正負色調抗蝕劑。這種靈活性使半導體制造商能夠根據自己的特定工藝要求選擇最合適的光刻膠，優化器件性能和產量。該資產與各種光刻膠配方的兼容性也增強了其在各種制造場景中的多功能性和適用性。Syrus Pro 1350 LION車型配備了先進的紫外線曝光設備，具有高強度光源和精確的曝光控制機制。這樣可以確保在基板上均勻和一致地暴露光刻膠層，從而最大限度地減少圖樣質量和尺寸精度的變化。可以對系統的曝光參數進行微調，以滿足不同光刻材料的特定加工要求，實現高可重復性的最佳圖樣化結果。除了光刻功能外,BUHLER/LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION單元還提供了一系列輔助功能,以支持高效的光敏處理。其中包括用於自動底物裝卸的集成晶圓處理機器人技術，以及用於編程和監控過程參數的綜合用戶界面。該機器的用戶友好設計和直觀操作使半導體制造商能夠在最小程度的培訓和監督下輕松設置和執行光刻膠處理序列。BUHLER Syrus Pro 1350 LION工具專為高通量生產環境而設計,具有快速的周期時間和高效的工作流管理功能。資產堅固耐用的結構和可靠的性能確保了連續運行和長期穩定,最大限度地減少了停機時間,並最大限度地提高了生產效率。它的模塊化設計還允許輕松升級和定制選項,以適應半導體制造中不斷變化的工藝要求和技術進步。總體而言,LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION光刻膠模型為尋求光刻膠處理方面無與倫比的精度、可靠性和多功能性的半導體制造商提供了最先進的解決方案。Syrus Pro 1350 LION設備憑借其先進的光刻技術、與多種光刻材料的兼容性以及全面的自動化功能,為實現高質量、性能卓越的半導體器件提供了全面的解決方案。
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