二手 BUHLER / LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710 #293741528 待售
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單擊可縮放
ID: 293741528
晶圓大小: 6"-8"
優質的: 2007
Coating machine, 6"-8"
Chamber, 700 mm
Control system
POLYCOLD PFC 672 Cooling system
Meissner trap
Evaporation shielding set
DP250A Oil-free vacuum pump
DP80 Single stage screw pump
Root pump
TPH 2101 Turbomolecular pump with automatic sequence control and interlock
Process gas with pressure control (oxygen)
Substrate drive
Single flat plate substrate holder, 6"-8"
Uniformity mask
Substrate heater ceramic, 5.2 kW
PIAD (Plasma Ion Assisted Deposition Sources)
Advanced plasma source
Anode tube
Tool set
LaB6 Cathode
(2) Spare ceramic rings
Graphite heater
Crucible 1- pocket 102/17 for HPE 6
Electron beam evaporator
XMS Quartz crystal measurement system
(10) Quartz Crystals
XMS Dual quartz crystal sensor head
Electrical power connection: 60 Hz
2007 vintage.
BUHLER/LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710是為先進半導體制造應用而設計的最先進的光刻設備。這種精密工具是生產集成電路、微處理器、內存芯片等電子設備的關鍵部件。BUHLER SYRUSpro 710在光刻過程中提供了無與倫比的準確性、可重復性和效率,使制造商能夠獲得更高的產量和卓越的設備性能。LEYBOLD OPTICS SYRUS PRO 710的核心是其先進的光學系統,它利用尖端技術提供卓越的分辨率和對準能力。該單元具有高性能光源、精確光學和精密的對準算法,以確保光敏材料在半導體基板上的精確圖案。該機器能夠實現亞微米分辨率,非常適合生產功能尺寸越來越小的設備。SYRUSpro 710提供了一系列特性和功能,使其成為半導體制造的通用工具。一個關鍵特點是它具有多波長的能力,允許用戶根據所使用的特定工藝或材料的要求選擇不同波長的光。這種靈活性使該工具能夠適應廣泛的應用程序和材料,從而提高其效用和成本效益。除了先進的光學資產外,BUHLER SYRUS PRO 710還配備了精密的自動化模型,可簡化光刻工藝並最大限度地減少人為錯誤。該設備具有智能軟件控制功能,使用戶能夠輕松、精確地對復雜的曝光模式進行編程。這種自動化能力不僅提高了生產率,而且還確保了一致和可重現的結果,這對於大容量半導體制造至關重要。BUHLER/LEYBOLD OPTICS SYRUS PRO 710專為高通量生產環境而設計,具有優化效率和縮短周期時間的功能。該系統包含高速級,用於快速基板定位和曝光,最大限度地減少停機時間並最大限度地提高生產吞吐量。此外,該裝置還配備了先進的晶圓處理能力,包括自動化裝卸系統,進一步提高了生產力和可擴展性。SYRUS PRO 710的主要優點之一是其可靠性和穩定性,確保在長時間的運行中性能一致。該機設計為在潔凈室環境中運行,具有堅固的結構和先進的汙染控制功能,以保持光刻工藝的完整性。這種可靠性對於尋求獲得高產率和一致設備質量的半導體制造商至關重要。總體而言,LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710為半導體制造中的精密光刻技術設定了新的標準。憑借其先進的光學工具、自動化功能和高通量設計,該資產為生產下一代電子設備提供了無與倫比的性能和多功能性。半導體制造商可以依靠BUHLER/LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710來滿足其最苛刻的陣列要求,並以經濟高效的方式實現卓越的設備性能。
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