二手 BUHLER / LEYBOLD OPTICS UCS 40 #9363015 待售

BUHLER/LEYBOLD OPTICS UCS 40是一種擬用於半導體工業的光刻膠設備。該系統使用光刻技術在基板上創建圖樣,並具有高分辨率的SEMI Standard BSIM3v3模型以實現精度。該單元配備了先進的曝光單元、超高精度的機電級，以及氙燈光源。在操作的暴露階段，上部基板暴露於在面膜上復制的圖樣。蒙版由激光照射，激光調制到適當的強度並聚焦到基板上。曝光單元確保激光達到最大強度，並且曝光在整個基板上均勻。曝光後，圖像從面膜轉移到矽基抗蝕劑上，在進入開發階段前分布在基板上。開發階段設計為根據面罩圖樣增加或減少特定的暴露抗性區域。這是通過幫助在需要暴露或開發的區域保持均勻的抗蝕劑平衡的棉簽晶片來完成的。利用機電級進一步提高了開發精度，允許在微米水平上進行精確操作。光致抗蝕劑過程的最後階段是光致抗蝕劑去除階段。該階段利用酸性溶液溶解任何暴露或顯影的抗蝕劑。仔細監測環境溫度，以保持最佳反應速度，從而獲得最高質量的結果。BUHLER UCS 40是一種可靠的光刻機，經過業界專業人士的測試，以提供最準確、最優質的結果。該工具可從各種供應商處獲得，其設計和特點使其易於適應任何半導體生產過程。