二手 C&D SEMI P-8000 #293679284 待售

C&D SEMI P-8000 Photoresist Equipment是一種高性能、全自動的光刻系統,用於在半導體器件制造中生產精密的微米級圖樣。該單元包括一個光學成像子系統、一個抗蝕性塗層子系統以及一個對準和光刻子系統。光學成像子系統包括光源、透鏡、多層反射鏡和相關電子設備。它設計用於輸出分辨率<1 µm的優化動態光場序列，以便在圖案化的薄膜中創建精確的微米尺度特征。它還具有LED照明功能,可減少所需的功耗並確保穩定的工藝條件。抗蝕性塗層子系統包括真空塗層站、抗蝕性盒式磁帶、抗蝕性噴嘴和基板支架。它采用了一種獨特的方法來防止與顆粒有關的缺陷，方法是提供光滑的噴嘴操作，使其與印刷介質脫鉤。這也減少了所需的材料消耗，因為只使用了必要數量的抗蝕劑。最後，對準和光刻子系統包括一個電動級、一個跟蹤機和一個軟件控制器。它負責優化晶片定位，以最大限度地提高抗蝕膜沈積過程中的精度。軟件控制器還調整光源的曝光參數，以精確控制在塗漆表面上創建的特征。總體而言，C&D SEMI P8000 Photoresist工具是在半導體器件制造中創建復雜圖樣的強大、高精度的工具。其組件的高級集成確保了可靠的操作和可重復的結果,並允許用戶經濟高效地創建低至1 µm的功能。