二手 C&D SEMI P-8000 #9153359 待售

CD SEMI C&D SEMI P-8000光刻設備是一種在半導體基板上制造先進結構的高性能光刻系統。該裝置能夠在矽片上沈積和去除高精度、薄薄的光刻膠層，提供出色的蝕刻選擇性和與各種基板的兼容性。它是為最佳精度和吞吐量而設計的,能夠每小時處理多達53個晶圓,陣列精度為+/-1.5 μ m。機器由真空室、常規步進光學工具、石英碗、基板支架和基板級組成。光刻光學資產包括光束分離器和冷凝器透鏡，設計用於提供均勻的基板照明。石英碗在沈積到基材上之前用於容納和固定光刻膠。基板架裝有加熱器，用於控制基板在光刻沈積過程中的溫度。基板級由高分辨率步進電機驅動，允許在光刻過程中精確放置基板。C&D SEMI P8000配備了單模環形二極管激光器（SMADL），用於精確控制用於曝光光刻膠的光的波長。SMADL激光器是專門為保證光刻圖案的最高精度和質量而設計的。此外，P 8000的固態設計帶來了很高的可靠性，使其能夠承受惡劣工業環境的嚴酷。該型號配備了多種功能，可幫助提高性能和降低生產成本。例如，該設備配備了一個自動切膜工具，可以精確選擇薄膜的長度和位置，從而優化基板的利用率。此外,系統還采用了先進的光阻處理溫度控制單元,有助於確保一致的陣列性能。最後，P8000與廣泛的底物相容，包括砷化氙、碳化矽和金剛石。綜上所述，CD SEMI C&D SEMI P 8000光刻機是制造先進微米級結構的一種可靠高效的光刻工具。它提供卓越的精確度和吞吐量,與各種基板兼容,並配備高級功能,以幫助降低生產成本和提高性能。